TGV(through glass via) : glass micromachining by wet etching 11월 13, 2013 공유 링크 만들기 Facebook X Pinterest 이메일 기타 앱 method : photolithography/development/wet etching(HF solution) glass thickness : 200um, 300um hole size : 14, 16, 18, 20um 댓글 얼음소년2014년 6월 16일 PM 8:49재밌네요.어떤 노광 tool을 사용하셨나요? 일반적인 broad band contact 노광기에서 glass mask를 사용하면 가능한가요?답글삭제답글답글s cho2014년 6월 17일 AM 4:22작성자가 댓글을 삭제했습니다.답글삭제답글답글Tingjun2015년 9월 24일 PM 2:54Do you have any new progress on this TGV technology? Does your company provide any service making TGV products?답글삭제답글s cho2015년 9월 24일 PM 4:01작성자가 댓글을 삭제했습니다.삭제답글답글답글댓글 추가더 로드하기... 댓글 쓰기
재밌네요.
답글삭제어떤 노광 tool을 사용하셨나요?
일반적인 broad band contact 노광기에서 glass mask를 사용하면 가능한가요?
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답글삭제Do you have any new progress on this TGV technology? Does your company provide any service making TGV products?
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