TGV(through glass via) : glass micromachining by wet etching 11월 13, 2013 공유 링크 만들기 Facebook Twitter Pinterest 이메일 기타 앱 method : photolithography/development/wet etching(HF solution) glass thickness : 200um, 300um hole size : 14, 16, 18, 20um 댓글 얼음소년2014년 6월 16일 오후 8:49재밌네요.어떤 노광 tool을 사용하셨나요? 일반적인 broad band contact 노광기에서 glass mask를 사용하면 가능한가요?답글삭제답글답글s cho2014년 6월 17일 오전 4:22브로드밴드에서 쿼츠포토마스크를 사용하거나, 355nm나 310nm레이저로 노광하면 됩니다. 세계에서 가장 정밀하다고 해서 국내외 저희기술을 이용하는 곳들이 늘어나고 있습니다.답글삭제답글답글Tingjun2015년 9월 24일 오후 2:54Do you have any new progress on this TGV technology? Does your company provide any service making TGV products?답글삭제답글s cho2015년 9월 24일 오후 4:01My company provides glass microstructures for electronic or bio medical devices like semiconductor interposer, WLP substrate, high power device etc.삭제답글답글답글댓글 추가더 로드하기... 댓글 쓰기
재밌네요.
답글삭제어떤 노광 tool을 사용하셨나요?
일반적인 broad band contact 노광기에서 glass mask를 사용하면 가능한가요?
브로드밴드에서 쿼츠포토마스크를 사용하거나, 355nm나 310nm레이저로 노광하면 됩니다. 세계에서 가장 정밀하다고 해서 국내외 저희기술을 이용하는 곳들이 늘어나고 있습니다.
답글삭제Do you have any new progress on this TGV technology? Does your company provide any service making TGV products?
답글삭제My company provides glass microstructures for electronic or bio medical devices like semiconductor interposer, WLP substrate, high power device etc.
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