TGV(through glass via) : glass micromachining by wet etching

method : photolithography/development/wet etching(HF solution)

glass thickness : 200um, 300um

hole size : 14, 16, 18, 20um



댓글

  1. 재밌네요.
    어떤 노광 tool을 사용하셨나요?
    일반적인 broad band contact 노광기에서 glass mask를 사용하면 가능한가요?

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  3. Do you have any new progress on this TGV technology? Does your company provide any service making TGV products?

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